原位高温扫描电子显微镜

产品特点

• 在高温微观组织观察与原位性能测试方面具有显著优势；
• 超大样品室可以满足多种原位分析模块的便捷切换，如原位拉伸、蠕变、疲劳、加热、冷台、电化学等;
• 自主研发的高温二次电子和背散射电子成像探测器，实现高温应力加载条件下的高分辨成像，可实现快速和低成本维护;
• 区块链技术辅助图像数据存储安全性和权益管理AI辅助时序数据质量客观评价与演变规律预测；
• 实时运行防护与监测，保持高温长时间加热过程中镜筒和电镜腔室的清洁。

产品参数

• 产品型号:In-situ SEM 660F

电子光学

• 电子枪：肖特基热场发射电子枪
• SE分辨率：1.0nm@30kV （常温状态）
             1.5nm@15kV （常温状态）
             10nm@30kV（1400℃）
• 加速电压：200eV~30keV
• 束流：0~100nA

样品仓

• 腔体尺寸：650mm×365mm×350mm
• 样品台承重：40kg
• 样品台行程：X=60mm、Y=60mm、Z=30mm
• 探测器：1400℃高温SE探测器
          1000℃高温BSE探测器
          镜筒内SE探测器

真空

• 真空泵：离子泵、分子泵系统
• 真空度：样品腔:≤10-3 Pa
          电子枪:≤10-8 Pa
• 真空控制:全自动控制、互锁功能、人机友好界面

原位功能

• 载荷范围：10kN
• 载荷精度：±1N
• 位移分辨率：±100nm
• 加载行程：最大45mm
• 加载速率：0.1~10μm/s
• 疲劳频率：≤5Hz
• 温度范围：室温~1400℃
• 控温精度：±0.1℃
• 疲劳模式：拉-拉疲劳
• 应力比：0~1
• 样品尺寸：60mm×6mm×2mm(L×W×H)
• 附 件：红外测温、等离子清洗、冷却与防护系统、CCD状态监控