等离子纳米涂层制备系统

Plasma Sample Coating System

等离子体纳米涂层制备系统为祺跃科技最新研发的纳米涂层设备，用于高真空背景下，制备各种金属膜、半导体膜、介质膜等。该系统主要由反应室、靶材、直流电源、冷水机、抽气系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。