等离子纳米涂层制备系统
Plasma Sample Coating System
等离子体纳米涂层制备系统为祺跃科技最新研发的纳米涂层设备，用于高真空背景下，制备各种金属膜、半导体膜、介质膜等。该系统主要由反应室、靶材、直流电源、冷水机、抽气系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。
等离子纳米涂层制备系统
产品特点
- 该系统操作简单、性能可靠、稳定性高
- 一体化设计，可以根据需要更换使用场地
产品参数
- 产品型号：MINI-MSM300
- 反应室尺寸：φ200mm×200mm，1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢材质
- 样品台尺寸：φ75mm，高度：60mm～120mm 可调，旋转：0-20r/min可调
- 真空系统：机械泵+分子泵
- 极限真空：8.0×10-4Pa
- 真空抽速：大气～8×10-4Pa ≤ 20min
- 真空测量范围：105Pa～10-5Pa
- 靶材：φ2 英寸 1只
- 电源：直流电源
