原位高低温测试系统

In-situ Cooler

半导体制冷系统


主要由半导体制冷部件、水冷部件、隔热保温部件等关键单元构成,可用于真空或扫描电镜中,或在大气环境中配合保护气体使用,为材料提供室温至-50℃的研究环境,并可以与扫描原位力学系统耦合,提供低温力学性能测试。

可以在扫描电镜中使用的冷热系统,通过液氮流速和加热器对样品实现控温,可满足材料高低温宽温域性能测试需求,可与扫描电镜原位力学测试配合,进行高低温力学性能测试。

产品特点

  • 降温速度快,可实现零上5℃/s的降温速率。
  • 普适性好,性价比高,除扫描电镜外,还可以适配其他多种仪器
  • 高效水冷及隔热管路设计,制冷效果安全又高效
  • 操作简易,适用于科学研究及工业应用

产品参数

  • 产品型号:MINI-CE50
  • 冷凝方式:半导体制冷
  • 温度范围:室温~-50℃
  • 控温精度:±0.1℃
  • 降温速率:5℃/s
  • 温度区域:≤φ12mm
  • 外观尺寸:69mm×61mm×22.1mm

原位冷热系统


可以在扫描电镜中使用的冷热系统,通过液氮流速和加热器对样品实现控温,可满足材料高低温宽温域性能测试需求,可与扫描电镜原位力学测试配合,进行高低温力学性能测试。

产品特点

  • 采用控制制冷器抽取液氮流速,中间环节少,制冷效率高,安全系数高;
  • 温度控制器与制冷器模块化集成设计,加热与制冷独立运行、互不干扰;
  • 冷热台进出气管波纹管连接,降低硅胶软管连接处温度,避免液氮泄露,可靠性高;
  • 测温准确,测量分辨率0.1℃;
  • 液氮罐卡箍密封,高密度泡棉隔热,保温性好、防止冷凝水结冰堵塞。

产品参数

  • 产品型号:MINI-CE180
  • 冷热方式:液氮制冷、电阻加热
  • 温度范围:-180℃~300℃
  • 控温精度:±0.1℃
  • 降温速率:>20℃/min
  • 温度区域:8.5mm×12.5mm
  • 样品台材质:无氧铜

应用案例

样品在室温、300℃、-180℃均能稳定清晰成像

室温、低温下EBSD均具有较高解析率