超大样品室扫描电子显微镜
LC SEM
来自德国的“MIRA超大样品室扫描电镜（LC-SEM）”，自从推出后，凭借独特的超大样品室的特点，已在航空、航天、半导体工业、汽车制造、风电设备、材料科学及其他工业等领域中得到了广泛应用。LC-SEM可以同时装备多种探测设备（背散射电子探测器、SE、EDS、EBSD、FIB、FT-IR）来满足不同的需求。不仅可以检查大型零部件的物理特性，还可以评价原材料的化学和结晶体特性。几乎对任何样品都可实现非常准确的，直至在分子层面的一站式检查和分析。
超大样品室扫描电子显微镜
系统特点
- 具有普通SEM的功能和特性；
- 样品室能够容纳大样件，进行样件无损检测；
- “可移动的” 电子光学和探测器，观测视场范围大；
- 提供多种探测器和测试功能；EDS、EBSD、拉伸、蠕变、疲劳等；
- 可以进一步开发测试功能和应用；
产品参数
电子光学系统
- 分辨率：优于10nm
- 放大倍数：10x~300000x
- 电子束加速电压：0.2~30keV
- 探测器：二次反射通道倍增电子探测器
四象限背散射电子探测器 - 分析能力：能量色散X射线光谱仪（EDS）
电子背散射衍射仪（EBSD） - 附加功能：聚焦离子束（FIB）
傅里叶变换红外光谱仪（FT-IR）
内部摄像系统
图像处理
- 软件：MIRA控制系统
- 硬件：电脑，显示器和打印机
真空系统
- 低真空泵：机械泵，65m³/ h
罗茨泵，400m³/ h - 高真空泵：分子泵2400L/s
- 极限真空：45分钟后10 -6 mabr
- 真空室：3 m3; 9 m3; 12 m3
样品
- 最大尺寸：直径1500mm，高度1500mm
- 最大质量：300 kg
半导体工业-晶圆卡盘分析
对轮胎截面磨损区域的横截面进行失效分析
对风力发电机组的测试结果
