原位高温扫描电子显微镜
IN-SITU HIGH TEMPERATURE SEM
世界上首台实现1400℃清晰成像，并与原位高温拉伸系统联用的扫描电子显微镜。配置自主研发的二次电子探测器，表征样品微观形貌、成分、结构信息的同时，获得样品在力与高温作用下的性能特征。具有腔室大、真空度好、兼容性强等特点，突破了传统扫描电镜的局限。
原位高温扫描电子显微镜
技术参数
- SE分辨率：3nm@30kV（常温状态）；20nm@30kV（1400℃）
- 电子枪：肖特基场发射电子枪
- 腔体尺寸：650mm（宽）*365mm（深）*349mm（高）
- 腔门尺寸：650mm*349mm（L*W），大开门设计
- 样品台承重：40kg
- 样品台行程：X 60mm、Y 60mm、Z 27mm
- 加热温度：≥1400℃
- 拉伸载荷：最大10000N
