扫描电镜三维移动平台

SEM 3D Mobile Platform

三维移动台采用真空步进电机驱动，升降结构采用研磨丝杠、配合交叉滚珠导轨实现高精度升降定位，旋转结构采用真空步进电机驱动，通过蜗轮蜗杆传动，旋转台与移动台绝缘处理，可接独立地线。倾转台采用真空步进电机驱动，通过蜗轮蜗杆传动。