来自德国的“MIRA超大样品室扫描电镜（LC-SEM）”，自从推出后，凭借独特的超大样品室的特点，已在航空、航天、半导体工业、汽车制造、风电设备、材料科学及其他工业等领域中得到了广泛应用。LC-SEM可以同时装备多种探测设备（背散射电子探测器、SE、EDS、EBSD、FIB、FT-IR）来满足不同的需求。不仅可以检查大型零部件的物理特性，还可以评价原材料的化学和结晶体特性。几乎对任何样品都可实现非常准确的，直至在分子层面的一站式检查和分析。
原位测试解决方案
超大样品室扫描电子显微镜
产品概述
产品特点
PRODUCTFEATURE
具有普通SEM的功能和特性
样品室能够容纳大样件，进行样件无损检测
“可移动的” 电子光学和探测器，观测视场范围大
提供多种探测器和测试功能；EDS、EBSD、拉伸、蠕变、疲劳等
可以进一步开发测试功能和应用
应用案例
PRODUCTSCENARIO
半导体工业-晶圆卡盘分析
对轮胎截面磨损区域的横截面进行失效分析
对风力发电机组的测试结果
产品规格
PRODUCTPARAMETER
| 分辨率 | 优于10nm |
| 放大倍数 | 10x~300000x |
| 电子束加速电压 | 0.2~30keV |
| 探测器 | 二次反射通道倍增电子探测器 ；四象限背散射电子探测器 |
| 分析能力 | 能量色散X射线光谱仪（EDS） ；电子背散射衍射仪（EBSD） |
| 附加功能 | 聚焦离子束（FIB）； 傅里叶变换红外光谱仪（FT-IR）； 内部摄像系统 |
| 软件 | MIRA控制系统 |
| 硬件 | 电脑，显示器和打印机 |
| 低真空泵 | 机械泵，65m³/ h ；罗茨泵，400m³/ h |
| 高真空泵 | 分子泵2400L/s |
| 极限真空 | 45分钟后10⁻⁶mabr |
| 真空室 | 3 m³; 9 m³; 12 m³ |
| 运动系统 | 5 +1微步控制轴系统 |
| 重复精度 | ±50 μm |
| 最大尺寸 | 直径1500mm，高度1500mm |
| 最大质量 | 300 kg |
| 一、电子光学系统 | |
| 电子枪 | 电子光学系统 |
| SE分辨率 | 优于10nm |
| 加速电压 | 200v~30kv,连续可调 |
| 放大倍数 | 10x~300000x |
| 二、探测器 | |
| 二次反射通道倍增电子探测器 四象限背散射电子探测器 | |
| 能量色散X射线光谱仪(EDS) 电子背散射衍射仪(EBSD) | |
| 三、附加功能 | |
| 聚焦离子束(FIB) | |
| 傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR) | |
| 内部摄像系统 | |
| 四、图像处理 | |
| 软件 | MIRA控制系统 |
| 硬件 | 电脑，显示器和打印机 |
| 五、真空系统 | |
| 低真空泵 | 机械泵，65m³/h、 罗茨泵，400m³/h |
| 高真空泵 | 分子泵2400L/S |
| 极限真空 | 45分钟后10⁻⁶mbar |
| 真空室 | 3m³;9m³;12m³ |
| 六、定位系统 | |
| 运动系统 | 5+1微步控制轴系统 |
| 重复精度 | ±50μm |
| 七、定位范围 | |
| X轴 | 600mm,1000mm,1500mm |
| Z轴 | 600mm,1000mm,1500mm |
| A轴 | 90° |
| B轴 | 135° |
| C轴 | 360° |
| D轴 | 350° |
| 八、样品 | |
| 最大尺寸 | 直径1500mm,高度1500mm |
| 最大质量 | 300 kg |