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原位测试解决方案

超大样品室扫描电子显微镜


产品概述

来自德国的“MIRA超大样品室扫描电镜(LC-SEM)”,自从推出后,凭借独特的超大样品室的特点,已在航空、航天、半导体工业、汽车制造、风电设备、材料科学及其他工业等领域中得到了广泛应用。LC-SEM可以同时装备多种探测设备(背散射电子探测器、SE、EDS、EBSD、FIB、FT-IR)来满足不同的需求。不仅可以检查大型零部件的物理特性,还可以评价原材料的化学和结晶体特性。几乎对任何样品都可实现非常准确的,直至在分子层面的一站式检查和分析。

产品特点
PRODUCTFEATURE
  1. 具有普通SEM的功能和特性

  2. 样品室能够容纳大样件,进行样件无损检测

  3. “可移动的” 电子光学和探测器,观测视场范围大

  4. 提供多种探测器和测试功能;EDS、EBSD、拉伸、蠕变、疲劳等

  5. 可以进一步开发测试功能和应用

应用案例
PRODUCTSCENARIO
  1. 半导体工业-晶圆卡盘分析

  2. 对轮胎截面磨损区域的横截面进行失效分析

  3. 对风力发电机组的测试结果

产品规格
PRODUCTPARAMETER
分辨率优于10nm
放大倍数10x~300000x
电子束加速电压0.2~30keV
探测器二次反射通道倍增电子探测器 ;四象限背散射电子探测器
分析能力能量色散X射线光谱仪(EDS) ;电子背散射衍射仪(EBSD)
附加功能聚焦离子束(FIB); 傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR); 内部摄像系统
软件MIRA控制系统
硬件电脑,显示器和打印机
低真空泵机械泵,65m³/ h ;罗茨泵,400m³/ h
高真空泵分子泵2400L/s
极限真空45分钟后10⁻⁶mabr
真空室3 m³; 9 m³; 12 m³
运动系统5 +1微步控制轴系统
重复精度±50 μm
最大尺寸直径1500mm,高度1500mm
最大质量300 kg