来自德国的“MIRA超大样品室扫描电镜(LC-SEM)”,自从推出后,凭借独特的超大样品室的特点,已在航空、航天、半导体工业、汽车制造、风电设备、材料科学及其他工业等领域中得到了广泛应用。LC-SEM可以同时装备多种探测设备(背散射电子探测器、SE、EDS、EBSD、FIB、FT-IR)来满足不同的需求。不仅可以检查大型零部件的物理特性,还可以评价原材料的化学和结晶体特性。几乎对任何样品都可实现非常准确的,直至在分子层面的一站式检查和分析。
原位测试解决方案
超大样品室扫描电子显微镜
产品概述
产品特点
PRODUCTFEATURE
具有普通SEM的功能和特性
样品室能够容纳大样件,进行样件无损检测
“可移动的” 电子光学和探测器,观测视场范围大
提供多种探测器和测试功能;EDS、EBSD、拉伸、蠕变、疲劳等
可以进一步开发测试功能和应用
应用案例
PRODUCTSCENARIO
半导体工业-晶圆卡盘分析
对轮胎截面磨损区域的横截面进行失效分析
对风力发电机组的测试结果
产品规格
PRODUCTPARAMETER
分辨率 | 优于10nm |
放大倍数 | 10x~300000x |
电子束加速电压 | 0.2~30keV |
探测器 | 二次反射通道倍增电子探测器 ;四象限背散射电子探测器 |
分析能力 | 能量色散X射线光谱仪(EDS) ;电子背散射衍射仪(EBSD) |
附加功能 | 聚焦离子束(FIB); 傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR); 内部摄像系统 |
软件 | MIRA控制系统 |
硬件 | 电脑,显示器和打印机 |
低真空泵 | 机械泵,65m³/ h ;罗茨泵,400m³/ h |
高真空泵 | 分子泵2400L/s |
极限真空 | 45分钟后10⁻⁶mabr |
真空室 | 3 m³; 9 m³; 12 m³ |
运动系统 | 5 +1微步控制轴系统 |
重复精度 | ±50 μm |
最大尺寸 | 直径1500mm,高度1500mm |
最大质量 | 300 kg |