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原位测试解决方案

纳米分辨可视化力热多场耦合测试系统 In-situ SEM 340F


产品概述

In-situ SEM 340F作为一款创新性的产品填补了国内外原位高温微观结构与力热耦合-体化测试仪器的空白,可以实现纳米级高分辨成像,并可以与原位高温力学测试装置联用

该仪器提供全新的视角与表征方法,能够从纳米到宏观,跨尺度研究材料液-固、固-固相转变过程中微观组织结构随温度、应力、时间的演化过程。可以施加拉伸、疲劳、蠕变等多种力-热耦合作用,表征样品力学性能与微观组织演变实时相关的过程信息,极大程度满足用户的多功能、多场景测试需求,

In-situ SEM 340F是研究先进材料的理想仪器平台,其创新的高温二次电子与背散射电子探测器,突破了国际上扫描电镜成像的最高温度,可以有效过滤加热元件产生的热电子,减少其进入成像探测器的数量,提升信噪比,从而保证了在高温条件下的高质量成像。

产品特点
PRODUCTFEATURE
  1. 聚焦高温微观组织观察与原位性能测试能力的扫描电镜,拓展了多场耦合加载(温度、应力时间等)的参数范围

  2. 原位分析模块化兼容性设计,超大样品室可以满足多种原位分析模块的便捷切换,如原位拉伸、蠕变、疲劳、加热、冷台、电化学等测试模块集成与更换

  3. 自主研发的高温二次电子和背散射电子成像探测器,实现高温应力加载条件下的高分辨成像,可实现快速和低成本维护

  4. 区块链技术辅助图像数据存储安全性和权益管理,AI辅助时序数据质量客观评价与演变规律预测

  5. 共焦面运行防护与监测,电子光学系统、清洗等离子源、红外热像仪、真空相机、安装在聚焦法兰上,保持高温长时间加热过程中镜筒和电镜腔室的清洁,实时记录原位实验操作过程

应用案例
PRODUCTSCENARIO
  1. 锂离子电池三元正极材料高温烧结

  2. 动态原位观察纯钴(熔点1495℃)的熔化(a~d)、冷却(e)、结晶(f)过程

  3. 钛铁合金熔炼过程;(a)原始状态下的铁和钛原料;(b)钛和铁开始熔化;(c-d)液态的钛铁合金;(e-f)冷却结晶过程

产品规格
PRODUCTPARAMETER
电子枪类型肖特基场发射电子枪
加速电压200V-30kV
电子着陆能量20eV-30keV
束流大小1pA-50nA
光阑不少于8孔式自加热物镜光阑
高真空分辨率(SE二次电子)0.5nm@15kV ( BD )
高真空分辨率(SE二次电子)1nm@1kV (不开减速,10mm工作距离)
高真空分辨率(SE二次电子)超低电压分辨率:0.8nm@500V ( BD )
抽真空时间≤ 3.5分钟
样品仓内径≥340mm
XYZ行程110x110x65 mm
倾斜Tilt(°)-15°~ +90°
旋转Rotation(°)360°连续
多功能样品台多用途标准支架,以独特方式直接安装到载物台,最多可支持 18 个标准样品台 (Ø12 mm)、3 个预先倾斜的样品台、切片样品不需要工具来安装样品
图像输出分辨率6144x4096像素,8/16/24位深度BMP、JPG
FLASH(闪调)自动执行精细调节动作只需移动鼠标,SEM 就可完成必要的透镜居中、消像散和图像聚焦校正。
载荷范围≥5000N
载荷精度≤1N
加载行程≥40mm
加载速率0.1μm/S~10μm/S,连续可调
位移精度≤±100nm
标配夹具拉伸夹具、压缩夹具、三点弯曲夹具
需具有保载状态下即停即走功能需具有保载状态下即停即走功能
SE加热温度≥1000℃
EBSD加热温度≥750℃
加热器范围≥φ8mm
温控精度≤±2℃
成像条件高真空成像
成像分辨率1000℃时的清晰成像放大倍数>10000倍
温度采集通道≥2个高精度采集通道