功能部件
功能部件
磁控溅射阴极靶 QY-MSC系列磁控溅射阴极（磁控溅射靶)
产品概述
产品特点
PRODUCTFEATURE
磁炉依靠有限元设计，靶材利用率高
精密的水路设计，永磁体与冷却水隔离，靶体温升小，可长时间连续稳定工作
靶体完整的电、磁屏蔽，可兼容AC、DC溅射
先进合理的结构易于安装和更换靶材
产品规格
PRODUCTPARAMETER
| 圆形磁控靶面尺寸（mm） | Φ50 Φ75 Φ100 Φ150 Φ200 |
| 矩形磁控靶面尺寸（mm） | 长：根据用户使用要求 ； 宽：80/100/120/150/200/300 ； 厚度：1～20（导磁材料1～6） |
| 最大比功率（功率密度） | ≤20W/cm² |
| 工作压强（Pa） | 5×10⁻¹～8×10⁻²Pa |