微信
$t('common.word.bytedance')
快手
B站
中文(简体)
  1. English(en-US)

功能部件

磁控溅射阴极靶 QY-MSC系列磁控溅射阴极(磁控溅射靶)


产品概述

功能部件

产品特点
PRODUCTFEATURE
  1. 磁炉依靠有限元设计,靶材利用率高

  2. 精密的水路设计,永磁体与冷却水隔离,靶体温升小,可长时间连续稳定工作

  3. 靶体完整的电、磁屏蔽,可兼容AC、DC溅射

  4. 先进合理的结构易于安装和更换靶材

产品规格
PRODUCTPARAMETER
圆形磁控靶面尺寸(mm)Φ50 Φ75 Φ100 Φ150 Φ200
矩形磁控靶面尺寸(mm)长:根据用户使用要求 ; 宽:80/100/120/150/200/300 ; 厚度:1~20(导磁材料1~6)
最大比功率(功率密度)≤20W/cm²
工作压强(Pa)5×10⁻¹~8×10⁻²Pa