结构比较简单，可以在真空室内调整位置，以获得最佳的辅助效果 离子能量≤200eV，不会造成基片损伤

可以获得几个安培的离子流，因此在基片上可以产生较高的离子浓度

QY-WSL-6、QY-WSL-10型号离子源采用全水冷结构，可以获得≥10A的较大放电电流