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功能部件

离子源 QY-WSL系列霍尔离子源


产品概述

功能部件

产品特点
PRODUCTFEATURE
  1. 结构比较简单,可以在真空室内调整位置,以获得最佳的辅助效果 离子能量≤200eV,不会造成基片损伤

  2. 可以获得几个安培的离子流,因此在基片上可以产生较高的离子浓度

  3. QY-WSL-6、QY-WSL-10型号离子源采用全水冷结构,可以获得≥10A的较大放电电流