对材料表面进行氢、氧、氮等离子体活化处理，改变材料的粘附性、相容性和浸润性，还可消毒和杀菌。广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
功能部件
等离子样品处理仪
产品概述
产品特点
PRODUCTFEATURE
占地空间小且具有高空间利用率和便携性，易于移动
真空室采用铝合金材质，前开门结构，真空室门搭载4英寸样品载物台，方便样品取放
射频电源可实现即时启辉，具有射频自动匹配，自动控制气体流量功能
人性化操作界面，易操作及维护，全程工艺可控，可在线设置、修改、监控各种工艺参数，可随时调用气体配方等记录
产品规格
PRODUCTPARAMETER
| 产品型号 | MINI-P4 |
| 极限真空 | ≤5×10⁻¹Pa |
| 样品尺寸 | ≤4英寸，样品厚度≤10mm |
| 离子源类型 | ICP-25电感耦合离子源 |
| 射频输出 | 0～100W，连续可调节 |
| 即时启辉 | 具有射频自动匹配，自动控制气体流量功能 |
| 电源类型 | 220V、13.56MHz |
| 质量流量计 | 100mL/min |