电镜经过长时间的使用，会有碳氢化合物凝聚在样品表面和腔室内壁，使用等离子清洗源能够有效分解腔室和样品表面的碳氢化合物，保证样品成像清晰的同时还可以改善电镜真空度，保持电镜腔室的清洁。