微信
$t('common.word.bytedance')
快手
B站
中文(简体)
  1. English(en-US)

功能部件

等离子清洗仪


产品概述

电镜经过长时间的使用,会有碳氢化合物凝聚在样品表面和腔室内壁,使用等离子清洗源能够有效分解腔室和样品表面的碳氢化合物,保证样品成像清晰的同时还可以改善电镜真空度,保持电镜腔室的清洁。

产品特点
PRODUCTFEATURE
  1. 清洁样品保证成像清晰度

  2. 保持腔室清洁,改善真空度

产品规格
PRODUCTPARAMETER
产品型号QY-PC25
等离子源真空接口KF25法兰,可定制转接法兰
等离子源最低点火起辉气压5×10⁻²Pa
射频输出5~100W,连续可调节具有射频自动匹配,自动控制气体流量功能
电源类型220V、13.56MHz