冷阱采用双层真空保温设计,可以将液氮的低温传输进扫描电镜或真空腔体内部,有助于消除样品脱气和其他来源造成的腔室污染,以及试验过程中的有机物污染。一方面提高了SEM使用过程中成像和分析数据的质量,另一方面也可为SEM提供干净的腔体环境,降低关键位置的温度。
功能部件
冷阱
冷阱
冷阱采用双层真空保温设计,可以将液氮的低温传输进扫描电镜或真空腔体内部,有助于消除样品脱气和其他来源造成的腔室污染,以及试验过程中的有机物污染。一方面提高了SEM使用过程中成像和分析数据的质量,另一方面也可为SEM提供干净的腔体环境,降低关键位置的温度。