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真空镀膜解决方案

等离子纳米涂层制备系统


产品概述

等离子体纳米涂层制备系统为祺跃科技最新研发的纳米涂层设备,用于高真空背景下,制备各种金属膜、半导体膜、介质膜等。该系统主要由反应室、靶材、直流电源、冷水机、抽气系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。

产品特点
PRODUCTFEATURE
  1. 该系统操作简单、性能可靠、稳定性高

  2. 一体化设计,可以根据需要更换使用场地

产品规格
PRODUCTPARAMETER
产品型号MINI-MSM300
反应室尺寸φ200mm×200mm,1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢材质
样品台尺寸φ75mm,高度:60mm~120mm 可调,旋转:0-20r/min可调
真空系统机械泵+分子泵
极限真空8.0×10⁻⁴Pa
真空抽速大气至8×10⁻⁴Pa ≤ 20min
真空测量范围10⁵Pa~10⁻⁵Pa
靶材φ2 英寸 1只
电源直流电源