热障涂层电子束镀膜机采用立式方箱式结构,侧开门,全不锈钢材质。真空室底板安装蒸镀源、气动挡板等,真空室预留数个备用孔。真空室内部安装一套防污衬板。整体采用分体结构,真空室安装左侧,电控柜在右侧,美观大方。
真空镀膜解决方案
离子源电子束辅助、蒸发系统(EB-PVD)
产品概述
产品特点
PRODUCTFEATURE
高功率电子枪可制备三氧化二铝、氧化锆等陶瓷隔热涂层
基片加热温度可达1000℃,镀膜厚度可达数百纳米
产品规格
PRODUCTPARAMETER
产品型号 | QY- EB-PVD |
设备类型 | 单体机 |
极限真空 | 2×10⁻⁴Pa |
真空系统配置 | 扩散泵/分子泵/低温泵+(罗茨泵)+旋片泵/螺杆泵 |
工件夹具 | 球面、平面、行星 |
基片加热温度 | ≤1000℃ |
镀膜厚度 | ≤500nm |
加热源 | 皮尔斯电子枪 |
蒸镀源 | 电子枪 |