In-situ SEM 660F作为一款创新性的产品，填补了国内外原位高温微观结构与力热耦合一体化测试仪器的空白，可以实现1400℃纳米级高分辨成像，并可以与多种原位高温力学测试装置联用。
该仪器提供跨尺度研究材料液-固、固-固相转变过程演化。可以施加拉伸、疲劳、蠕变等多种力-热耦合作用，表征样品力学性能与微观组织演变实时相关的过程信息，极大程度满足用户的多功能.多场景测试需求。
原位测试解决方案
纳米分辨可视化力热多场耦合测试系统 In-situ SEM 660F
产品概述
产品特点
PRODUCTFEATURE
在高温微观组织观察与原位性能测试方面具有显著优势
超大样品室可以满足多种原位分析模块的便捷切换，如原位拉伸、蠕变、疲劳、加热、冷台、电化学等
自主研发的高温二次电子和背散射电子成像探测器，实现高温应力加载条件下的高分辨成像，可实现快速和低成本维护
区块链技术辅助图像数据存储安全性和权益管理AI辅助时序数据质量客观评价与演变规律预测
实时运行防护与监测，保持高温长时间加热过程中镜筒和电镜腔室的清洁
应用案例
PRODUCTSCENARIO
锂离子电池三元正极材料高温烧结
动态原位观察纯钴（熔点1495℃）的熔化(a~d)、冷却(e)、结晶(f)过程
钛铁合金熔炼过程；(a)原始状态下的铁和钛原料；(b)钛和铁开始熔化；(c-d)液态的钛铁合金；(e-f)冷却结晶过程
产品规格
PRODUCTPARAMETER
| 产品型号 | In-situ SEM 660F |
| 电子枪 | 肖特基热场发射电子枪 |
| SE分辨率 | 10nm（室温）、40nm(1400℃) |
| 加速电压 | 200V~30kV,连续可调 |
| 束流 | 0~50nA |
| 腔体尺寸 | 650mm×365mm×350mm |
| 样品台承重 | 30kg |
| 样品台行程 | X=60mm、Y=60mm、Z=30mm |
| 探测器 | 1400℃高温SE探测器 |
| 四视角CCD状态监控 | |
| 真空度 | 样品腔：≤10-³Pa ；电子枪：≤10⁻⁸ Pa |
| 真空控制 | 全自动控制、互锁功能、人机友好界面 |
| 载荷范围 | 10kN |
| 载荷精度 | ±1N |
| 位移分辨率 | ±100nm |
| 加载行程 | 最大45mm |
| 加载速率 | 0.1~10μm/s |
| 疲劳频率 | ≤5Hz |
| 温度范围 | 室温~1400℃ |
| 控温精度 | ±0.1℃ |
| 疲劳模式 | 拉-拉疲劳 |
| 应力比 | 0~1 |
| 样品尺寸 | 60mm×6mm×2mm(L×W×H) |
| 附件 | 红外测温、等离子清洗、冷却与防护系统、CCD状态监控 |
| 真空泵组 | 离子泵、分子泵系统 |
| 真空控制 | 全自动控制、互锁功能、人机友好界面 |
| 真空度 | 样品腔：≤10⁻³Pa、电子枪：≤10⁻⁸Pa |
| 载荷范围 | 10kN（不兼容EBSD） |
| 载荷控制精度 | ±1N |
| 加载行程 | 最大行程为45mm |
| 加载速率 | 0.1μm/s~10μm/s |
| 位移精度 | 100nm |
| 疲劳频率 | ≤5hz |
| 温度范围 | 室温～1200℃（力热耦合）、500℃～1400℃（加热） |
| 控温精度 | ±2℃（室温～1200℃手动控温） |
| 测温精度 | 测量值的±1%（500℃～1400℃） |
| 疲劳模式 | 拉-拉疲劳 |
| 应力比 | 0～1 |
| 样品尺寸 | 力热耦合：60mm*6mm*2mm(L*W*H)；加热：0.7mm*0.4mm*0.4mm(L*W*H) |