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MINI型磁控溅射镀膜机

原位SEM产品

  

真空与镀膜产品  
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MINI型磁控溅射镀膜设备结构简单紧凑易于操作,对实验室供电要求低;主要部件采用进口或者国内最优的配置,从而提高设备的稳定性;另外自主开发的智能操作系统在设备的运行重复性及安全性方面得到更好地保障。 标配1只Φ2英寸永磁靶,一台500w直流溅射电源,主要用来开发纳米级单层及多层的金属导电膜、半导体膜以及绝缘膜等。



1实用性:设备集成度高,结构紧凑, 占地面积小,可以满足客户实验室空间不足的苛刻条件;通过更换设备下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换,实现机多用;

2方便性:设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接线及安装调试简单,既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁;

3.高性价比:设备主要零部件采用进口或国内知名品牌,以国产设备的价格拥有进口设备的配置,从而保证了设备的质量及性能;



MINI型磁控溅射蒸发镀膜机