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桌面式蒸发溅射镀膜机

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蒸发锁膜机是款小型电阻蒸发锁膜仪,主要特点是设备体积小,结构简单紧凑易千操作,也可整机放置于手套箱内,对实验室供电要求低;该系列设备主要部件采用进口或者国内最优的配置,从而提高设备的稳定性;另外自主开发的智能操作系统在设备的运行重复性及安全性方面得到更好地保障。
目前该设备配3组电阻蒸发源(可兼容金属与有机蒸发),台2000W直流蒸发电源,主要用来开发纳米级单层及多层的金属导电膜、有机薄膜等。

l、实用性:设备集成度高,结构紧凑,占地面积小,可以满足客户实验室空间不足的苛刻条件;通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换,实现机多用;
2、方便性:设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接线及安装调试简单,既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁性;
3、高性价比:设备主要零部件采用进口或国内知名品牌,以国产设备的价格拥有进口设备的配置,从而保证了设备的质量及性能;
4、安全性:独立开发的PLC+触摸屏智能操作系统在传统操作系统的基础上新具备了漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能,保证了设备的使用安全性能;
5、灵活性:设备可整机(除机械泵外)放置千手套箱内,也可单独放在实验桌上,省去与手套箱对接接口等问题,灵活方便。


桌面式蒸发镀膜机