等离子清洗仪

High Temperature Secondary Electron Detector


用于扫描电镜腔室清洁,可以分解腔室和样品表面凝聚的碳氢化合物,保持电镜腔室清洁,提高成像能力。

等离子清洗仪

技术参数

  • 真空接口:KF25法兰,也可定制
  • 启辉电压:5x10-2Pa
  • 功率:0~100W,连续可调
  • 电源:220v,13.56MHz
  • 射频自动匹配,气体流量自动控制