等离子清洗源

High Temperature Secondary Electron Detector


用于扫描电镜腔室清洁，可以分解腔室和样品表面凝聚的碳氢化合物，保持电镜腔室清洁，提高成像能力。

等离子清洗源

技术参数

  • 真空接口：KF25法兰，也可定制
  • 启辉电压：5x10-2Pa
  • 功率：0~100W，连续可调
  • 电源：220v，13.56MHz
  • 射频自动匹配，气体流量自动控制
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